两种工艺对下电极接触孔等离子清洗机等离子表面处理机蚀刻的要求都是合适的接触尺寸、垂直的氮化钛剖面形状且U形沟槽底部无氮化钛残留。在用等离子清洗机等离子表面处理机含氧等离子体去掉沟槽中的有机物衬底后，四川等离子清洗机设备厂家报价多少钱对于下层的氧化硅，氮化钛蚀刻有各向同性、各向异性等离子体蚀刻两种方案
