集成电路制造中引线键合的质量对微电子器件的可靠性有重大影响。此外,喷漆涂层附着力值粘合区域必须干净,并具有良好的粘合性能。氧化物和有机残留物等污染物的存在会显着降低引线键合拉力值。通过宽带等离子表面处理机使用等离子清洗,将过程中产生的污垢彻底去除,有效去除污垢,活化污垢表面,大大提高打线强度,集成电