电晕表面处理设备基本上是在特定真空条件下，吹膜电晕处理电离等特定场所产生的低压气体、光亮电晕。简而言之，电晕设备的清洗需要处于真空状态（通常保持在Pa以上和以下），因此需要真空泵抽真空。其基本环节是将需要清洗的部件送入真空室固定，启动真空泵等装置，将真空度排至10Pa左右的真空度，然后将用于电晕清洗
