正常排气时间约为几分钟。将等离子清洗气体引入真空室以稳定室压力。氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳和其他气体可以使用分贝，吉林真空等离子表面处理机怎么样具体取决于清洁剂。通过在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体分解产生等离子体，通过辉光放电产生等离子体，使真空室内产生的等离子体完全产生。
