在目前的集成电路生产中，南通电晕机厂家50%以上的材料由于晶圆表面污染而损耗。在半导体生产过程中，几乎每道工序都需要清洗，晶圆清洗的质量对器件性能有严重影响。正是由于晶圆清洗是半导体制造工艺中重要且频繁的一步，其工艺质量将直接影响器件的良品率、性能和可靠性，因此国内外各大公司和研究机构一直在不断研究
