失效时间与退化率为逆关系,南京等离子清洗机厂家因此是随电场强度指数减小的,具体表达形式为TF=A0exp(-ϒEox)exp(Ea/kBT)(7-10)其中,ϒ为电场加速因子;Eox为氧化物电介质层内电场强度;Ea为激活能;kB为玻尔兹曼常数;A0为与材料和工艺相关的系数,不