晶圆蚀刻-等离子清洗机预处理晶圆的残留光刻胶和BCB，南京等离子真空清洗机生产重新分配图形介电层、线/光刻胶蚀刻，提高晶圆材料表面的附着力，去除多馀的塑料密封材料/环氧树脂，还有其它的有机污染物，提高金焊料凸点的附着力，减少晶圆压力破碎，提高旋转涂膜的附着力。采用等离子体清洗机，可轻松去除生产过程中
