利用等离子体可在集成光学中根据要求的折射率沉积上稳定的薄膜，哪种莫斯附着力强使其与光路中的各个元件连接。这类薄膜每厘米的光损失为0.04分贝。。等离子体（是气体被电离后而产生的物质的第四种存在形态，主要由自由电子、离子以及未电离的中性粒子组成，整体呈现电中性状态。在表面处理技术中所用的等离子体，大多
