相对而言，半导体清洗干洗是指等离子清洗、气相清洗、束流清洗等不依赖化学试剂的清洗技术。由于工艺技术和使用条件的不同，市场上的半导体清洗设备也存在明显的差异。目前市场上主要的清洗设备有单片清洗设备、自动清洗台、洗涤器设备。从21世纪至今，主要的清洗设备是晶圆清洗设备、自动化清洗站和清洗机。花点时间从您
