其缺点是过度腐蚀或污染物颗粒在其他不希望的区域重新聚集，什么油漆是软的附着力还强但这些缺点可以通过调整工艺参数来控制。3.同时清洗物理和化学反应：物理和化学反应在反应中都起着重要作用。例如，Ar和O2混合气体在线等离子体清洗工艺，反应速度比单独Ar和O2快。氩离子产生的动能在加速后能增强氧离子的反应
