材料经NH3、O2、CO、Ar、N2、H2等处理后，什么材质附着力大与空气接触，表面引入mdash；COOH等基团，增加其亲水性。。真空等离子表面清洗剂专门用于IC芯片等材料的表面处理，以增加附着力。真空等离子体用来腐蚀一层几个原子厚度的材料。一些IC芯片在电子元件之间只生产10nm，一些厂商已经计
