等离子表面处理机等离子清洗机的接触孔蚀刻3D NAND接触孔蚀刻也是一种高纵横比蚀刻工艺。与沟道通孔工艺不同的是，附着力最好的材料接触孔刻蚀材料是单一的SiO2，但每个接触孔的深度不同，因为它停在不同高度的每个控制栅层。在蚀刻不同深度的接触孔的过程中，蚀刻停止的过蚀刻量变化很大。除了制造过程中沟槽的
