就反应机理而言，亲水性聚氧乙烯蜡等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发到等离子体状态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子。产物分子被分析形成气相。反应残渣从表面脱落。等离子体表面处理技术的特点是既可加工基材类型的对象，可加工金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料
