氧和氩都是非聚合气体，防水卷材属于亲水性物质吗等离子体与晶圆表面的二氧化硅层相互作用后，活性原子和高能电子破坏了原有的硅氧键结构，使其转变为非桥键，使表面活化，使与活性原子的电子结合能向高能方向移动，使其表面存在大量的悬挂键，这些悬挂键以结合OH基团的形式存在，形成稳定的结构。经过有机或无机碱浸泡并
