由于采用大型等离子清洗机蚀刻的金属硬掩模图案作为掩模层进行沟槽蚀刻，亲水性滤芯如何测完整性将蚀刻后的金属硬掩模层图案的完整性和临界尺寸转移到（超）低介电常数材料上。通过沟槽蚀刻形成金属连接。金属硬掩模层的蚀刻后设计图案保真度和蚀刻后边际尺寸偏差的负载效应由随后的沟槽蚀刻继承，并且由于沟槽蚀刻负载效应
