它与半导体器件表面的有机污染物和颗粒相互作用。该反应产生的挥发物被真空泵抽出，亲水性润湿角测量方法以达到净化、活化和蚀刻等目的。真空表面等离子加工设备是一种不改变材料固有性能的纳米级加工。经过等离子体处理后，材料表面形成一定的粗糙度或亲水性官能团，提高了材料的可靠性。焊接并改善材料之间的结合。这提高
