通过控制阀可实现真空回路开/关、压力测量等功能，亲水性材料的润湿角要求保证设备的可靠性和稳定运行。适用特性因设备类型而异。高真空气动挡板阀： GDQ也称为高真空气动挡板阀。一般来说，即使真空管道中的低压等离子设备在短时间内处于待命状态，真空泵也能保持运行。高真空气动挡板阀 该阀可以连接和阻断真空管道
