因此,二氧化钛 亲水性和疏水性等离子体表面处理技术将具有广泛的发展潜力。也将成为科研院所、医疗机构、生产加工企业越来越推崇的加工技术。氧和氩都是非粘性气体。等离子体与晶圆表面的二氧化硅层相互作用后,活性原子和高能电子破坏了原有的硅氧键结构,使其变为非桥接键,使表面具有活性而活性原子的电子结合能向更高