等离子体清洗机用于玻璃表面的清洗，二氧化硅plasma刻蚀除了机械作用外，更主要的是氧化活性氧，激发等离子体中的Ar，激发氧对激发氧高能电子碰撞分子使其分解，激发氧的形成污染了润滑油和硬脂酸的成分为碳氢化合物，这类碳氢化合物被活性氧氧化，污染来自二氧化碳和水，反过来，是产生从玻璃表面去除。化学钢化玻
