这三种激励频率的作用机理是不同的。40kHz为物理反应，亲水性材料 水分子13.56MHz既是物理反应又是化学反应，20MHz为物理反应但主要是化学反应，需要对材料进行活化改性如果合适，应用13.56MHz或20MHz等离子清洗。型腔材料的选择目前常用的腔体材料有以下几种：石英腔体、不锈钢腔体、铝合
