RF等离子体帧处理器的微波腔的各种结构影响电场的强度和分布,不锈钢喷漆底材附着力差从而影响等离子体状态。等离子帧处理器有相应的作用。金刚石沉积的质量和速度。对 MPCVD 设备中微波谐振腔结构的研究将有助于金刚石的生长。 MPCVD法常用于金刚石生长的谐振腔有不锈钢板谐振腔型和石英钟型。石英钟型促进