广东芳如达科技有限公司 2022-12-27 16:36:09 124 阅读
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不同等离子体产生的自偏压不一样,镜面银油墨附着力哪种好超声等离子体的自偏压为 0V左右,射频等离子体的自偏压为250V左右,微波等离子体的自偏压很低,只有几十伏,而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应,射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应,微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响最大,因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。
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等离子清洗/蚀刻机在密闭容器中设置两个电极产生电场,镜面银油墨附着力利用真空泵实现一定的真空度产生等离子。形成等离子体时,这些离子非常活泼,它们的能量足以破坏几乎所有的化学键,从而在暴露的表面上引起化学反应。此外,各种气体的等离子体具有各种化学性质,如氧等离子体具有很强的氧化性。它氧化和反应摄影者产生气体,达到清洁效果。腐蚀性气体等离子体具有高度的各向异性,可以满足蚀刻要求。
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二、凡是经常使用等离子清洗设备的工作人员都知道,要想保证等离子清洗机的正常运行,保护好设备的点火装置是十分重要的,通常情况下如果等离子清洗设备出现问题,则很有可能是因为其点火装置出现了故障,因此日常使用的时候对于点火装置也应该多注意维护和保养才行。
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