广东芳如达科技有限公司 2022-12-15 19:43:11 124 阅读
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辉光放电是放电等离子体中最常见的一种放电形式,同时辉光放电也是放电形式中放电最稳定的放电形式。等离子清洗机是在低气压下,反应气体在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体,等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并形成大量的活性基团(Radicals)。在使用等离子清洗机的过程中,客户可能会碰到设备不发光,或者无法启辉的情况出现。
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