广东芳如达科技有限公司 2023-02-24 11:10:19 92 阅读
这样就可以实现表面处理、清洗和刻蚀的效果(清洗过程中有一种轻微的蚀刻过程);清洗完成后,腻子附着力差怎么办排出蒸发的污垢和清洗气体,同时将空气送回室内真空,使其恢复到正常的大气压。清洗时,在真空泵控制真空室的真空环境下,气体的流量决定发光色度:如果颜色重,说明真空度低,气体流量大;如果偏白,说明真空度高,气体流量小;具体需要根据需要的处理效果来定,确定真空泵要达到的真空度。
2.将等离子体清洗气体引入真空室,腻子附着力差怎么办并保持其压力在Pa。根据清洗材料的不同,可以选择氧气、氢气、氩气或氮气分贝。3.在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体分解,通过辉光放电产生电离和等离子体。让真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件,开始清洗作业。一般清洗过程持续几十秒到几分钟,视材质和要求而定。4.清洗完毕后,切断高频电压,通过真空泵抽走气体和气化的污物。
正常排气时间约为几分钟。 2) 将用于等离子清洗的气体引入真空室以稳定室内压力。根据清洗剂的不同,腻子附着力差怎么办可以使用氧气、氩气、氢气、氮气和四氟化碳等气体。 3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体分解产生等离子体,通过辉光放电产生等离子体,将真空室内产生的等离子体完全包裹起来。被处理。工件的清洗开始,清洗过程通常持续几十秒到几十分钟。 4) 清洗后,关闭电源,用真空泵排出气体和汽化的污垢。
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等离子处理是通过化学或物理作用对工件表面进行处理,反应气体被电离,产生高反应活性离子,与表面的污染物发生化学反应,从而达到清洁的目的。应根据污染物的化学成分选择反应气体。基于化学反应的等离子清洗速度快、选择性高,对有机污染物有极好的清洗效果。最常用的等离子清洗,其表面反应基于物理作用,是使用氩气,它不会产生氧化副产物,并且蚀刻效果是各向异性的。
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Ti代表等离子体中离子的温度,Te代表电子、原子、分子或原子团等中性粒子的温度。如果 Te 比 Ti 和 Tn 大得多,也就是低压气体,那么气体的压力只有几百帕斯卡。当使用直流高压或高频电压作为电场时,伴随的电子质量小,容易在电场中加速,产生平均数个电子伏特的高能量。在电子的情况下,这种能量对应的温度是几万度,而温度只有几千度,因为离子质量很大,不容易被电场加速。
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发布日期:2023-02-24 11:10:19