广东芳如达科技有限公司 2022-12-12 18:54:42 129 阅读
等离子体处理系统通过将两个电极放置在密闭容器中以产生电场并使用真空泵来实现一定程度的真空来产生等离子体。分子和离子的自由运动距离越来越长。它在电场的作用下发生碰撞,附着力增进剂英文形成等离子体。这些离子非常活跃,它们的能量足以破坏几乎所有的化学键并在暴露的化学键中引发化学反应。表面。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。例如,氧等离子体具有很强的氧化性,可以氧化并与照相反应产生气体,达到清洁的效果。
A、原子团等自由基与物体表面的反应B、由于这些自由基呈电中性,附着力增进剂英文存在寿命较长,而且在等离子体中的数量多于离子,因此自由基在等离子体中发挥着重要的作用。
等离子发生器的种类目前,附着力增进剂英文在科学技术和工业领域应用较多的发生器有电弧等离子体发生器、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器五类。 最典型的为电弧、高频感应、低气压等离子体发生器三类。它们的放电特性分别属于弧光放电、高频感应弧光放电和辉光放电等类型。
等离子清洗过程涉及许多影响颗粒并直接影响去除效果的复杂物理过程,附着力增进剂英文如等离子的产生和沉积能量的积累。直径为10~2纳米的颗粒分布在硅衬底表面,除极小的纳米颗粒外,大部分颗粒在等离子体的作用下被去除。等离子冲击波对去除微纳米颗粒的影响非常明显。直径大于 0.5 μm 的颗粒被完全去除,但小于该尺寸的颗粒基本去除了原始数量的 50% 左右。
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