广东芳如达科技有限公司 2022-12-13 14:54:39 123 阅读
(1) 电场+电子→高能电子(2)高能电子+分子(或原子)→(激发原子、激发自由基、自由基)活性基团(3) 活性基团+分子(原子)→产物+热(4) 活性基团+活性基团→产物+热 从上述过程可以看出,什么油漆附着力更好一些电子首先从电场中获得能量,然后通过激发或电离将能量传递给分子或原子。获得能量的分子或原子被激发,一些分子被电离成活性基团。这些反应基团与分子或原子、反应基团和反应基团碰撞后,产生稳定的产物和热量。
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通常情况下,油漆附着力第二天变差物质以固态、商业态和气态三种状态存在,但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在,比如太阳表面的物质、地球大气层电离层的物质等。这类物质的状态称为等离子体态,也称为势物质的第四态。以下物质存在于等离子体中。高速运动的电子;处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基);电离原子和分子;分子解离反应过程中产生的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质作为一个整体保持电中性。
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等离子体清洗优点:不损伤晶片及所用材料的表面性能、热学性能和电学性能,清洗去除晶片、半导体表面的有害污染杂质组件的功能、可靠性和集成尤为重要。
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简单来说,如开篇所述,等离子清洗需要在真空中进行(通常应该保持在 PA左右),所以需要真空泵来产生真空。主要流程如下。首先将待清洗的工件送入真空室进行固定,抽真空泵等设备抽真空至10帕左右的真空度,引入等离子清洗气体。将其置于真空室中(所选择的气体,如氧气、氢气、氩气、氮气等,取决于清洗剂),压力保持在 帕左右,在它们之间施加高频电压.真空室中的电极和接地装置分解气体并使其通过辉光。
2)将等离子体清洗用气体引入真空室内,保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3)在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,通过辉光放电产生等离子体,使真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件,开始清洗作业,清洗处理一般持续几十秒至几十分钟4)清洗后切断电源,通过真空泵将气体和气化的污物泵出。
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