-真空低温等离子体清洗机在半导体行业一般选用铝反应室的5大优点:(1)铝合金密度低，镀锌板磷化后电泳附着力差强度高，加工性能优于优质钢。(3)材料与化学反应的相容性好，不易产生金属污染(4)铝合金表面处理丰富，包括电泳、喷涂、阳极氧化等(5)铝的结皮深度是不锈钢的10倍以上，使电流分布更加均匀，腔体
