等离子处理设备技术的主要特点是无论被处理的基板类型如何，铁氟龙等离子蚀刻设备都可以进行处理。可用于对金属、半导体、氧化物以及聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、多氯乙烷、环氧树脂甚至铁氟龙等大多数高分子材料进行全面、局部和繁琐的清洗。等离子加工设备清洗还具有数控技术简单、自动化程度高、控制设备精度高、无表面损伤
