等离子清洗机采用数控技术，半导体刻蚀工艺仿真软件自动化程度高；采用高精度控制装置，时间控制精度很高；正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；不污染环境，确保清洁后的表面不受二次污染。随着电子信息产业，特别是通信产品、计算机及元器件、半导体、液晶和光电子产品的发展，超精密工业清洗设备和
