在0~20eV范围内，玻璃盖板等离子蚀刻机等离子体中粒子的能量主要为0~10eV。因此，当等离子体作用于固体表面层时，可以破坏固体表面原有的离子键，固体表面的氧自由基可以与这些键形成网络交联结构，大量的表面活性被激活。。电晕等离子体处理器的表面改性是控制表面的有效方法:电晕等离子体处理后，可能由于材
