等离子清洗剂不仅能彻底去除光刻胶等有机物，表面活性位点的改性还能活化和增厚晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性，提高晶圆表面的附着力。等离子清洗机解决了湿法剥离晶圆表面光刻胶的缺点，如反应不准确、清洗不彻底、容易引入杂质等。等离子清洁剂不需要有机溶剂，不会污染环境。一种低成本、环保的清洗方法作为干洗等离子
