等离子清洗机电源的主要电流是13.56KHZ的射频电源和40KHZ的中频电源。小型电源的功率为数百瓦。二是放电气体的压力。在低压等离子体的情况下，小型真空等离子清洗机供货商放电气体压力越高，等离子体密度越高，电子温度越低。等离子体的清洁效果取决于其密度和等离子体温度。例如，密度越高，清洗速度越快，等
