在将真空室引入等离子蚀刻机时，在线真空式等离子清洗机咨询热线气体必须保持腔内压力稳定。在将真空室引入等离子蚀刻机时，气体必须保持腔内压力稳定。将等离子刻蚀机和气体引入等离子刻蚀机。真空腔室以稳定腔室内的压力。根据清洗剂的不同，可以使用氧气、氩气、氢气和氮气、氟等气体分贝。通过在真空室的电极和接地装置
