加入氧气后，sN附着力锗及其合金的选择性最高可调节至434。这一点很重要，因为锗多层结构一般是外延产生的，而期间的感应层和中间层结构一般都是锗合金材料。我们知道CF4也是一种高反应性的化学蚀刻气体。由于这种效应，当向 CF4 添加氧时，蚀刻选择性很高。这是因为氧与底层材料 (Sn) 反应以促进表面保
