等离子清洗技术是利用等离子体内的高能粒子的活化作用，极性和亲水性使得工件表面的待清洗层上的有机物、氧化物等污垢以及各种粒子发生一系列的物理化学反应，从而从清洗表面脱落或蒸发，从而达到清洗的作用。同时在合理的清洗工艺参数下，等离子清洗还会使得清洗表面的形态发生物理化学变化，并且也为表面引入一系列的自由
