当玻璃基片处在等离子体中时, 由于表面受到等离子体中的荷能粒 (电) 子的 轰击, 首先基片表面吸附的环境气体、水汽、污物等被轰掉, 使表面清洁活化, 表面能提高, 当沉积时薄膜原子或分子更好地浸润基片, 增大范德华力。其次玻璃基片表面经过荷能粒 (电) 子的撞击, 从微观上看, 基片表面会形成许多
