由于氧气的强氧化作用，工业刻蚀玻璃控制了用这种方案代替氮气后可能会出现这个问题。第三种是仅使用氩气时。单独使用氩气即可完成表面改性，但效果相对较差。这是一种特殊情况，是少数工业客户限制均匀表面改性要求时的首选解决方案。大气压等离子体，也是一种低温等离子体，不会损伤材料表面。没有电弧、真空室或有毒气体
