等离子体清洁器产生的等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子表面处理设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，表面达因值高有什么好处达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。将等离子清洗剂应用于微电子封装微电子封装的制造过程涉及到各种带有器件和材料的表面，如不同
