保形层粘附的其他挑战包括污染物,封装plasma表面处理机器如释放化合物和残余通量。等离子体处理是清洗电路板的有效方法。等离子体处理可以去除污染物而不损伤基底。可提供单级等离子处理--包括刻蚀回退和移除--的等离子处理系统,每周期最多可达30块面板(面板尺寸为500x813mm/20x32英寸),在