氧气、氩气、氯基气体、氢气和其他工艺气体的类型以及流量控制。加速常用的13.56MHZ、40KHZ、2.45GHZ等各种功率靶磁场等离子体；磁场是否设计成定向加速等离子体。利用等离子体技术的主动物化电磁流体特性，湿法刻蚀设备成本以高生产速度、高能量、无污染、处理目标广泛等特点，实现了一系列常规湿法处
