O2+CF4=O+OF+CF3+C0+COF+F+E等离子体与高分子材料发生反应(常用的高分子材料:C,comsol中等离子体材料H,O,N)C,H,O,N+O+OF+CF3+C0+COF+F+E=CO2+H2O+NO2+.....等离子去有机物:大量携能电子轰击污染物分子,使其电离、解离和激发,然