(4) 等离子发生器的运行时间不能超过使用说明书中描述的时间范围。此外，PFCplasma清洗设备设备的风道必须通风良好。否则，设备的燃烧器会烧坏，造成损失。 (5)等离子清洗机在维护或保养过程中，必须先关闭等离子发生器的电源，然后再进行相关的维护工作。等离子表面处理机 气体团簇离子束蚀刻技术 等离
