等离子蚀刻的优点：高度透明的缝隙，等离子表面处理机价格非常适合微孔；几乎所有的电介质蚀刻；过程可控，一致性好；支持下游干燥工艺；使用成本，垃圾处理成本低；环保工艺，对操作者身体无伤害；应用行业：半导体、微电子、印刷电路板、生物芯片、太阳能硅片蚀刻。等离子装置的应用原理是等离子预处理使低附着力的丝网印
