通过活性氢原子和自由基重组反应进一步夺取氢导致形成C2H4和C2H2。同时，CCP刻蚀机原理C2H6 本身与高能电子之间的非弹性碰撞很可能导致其 CC 键断裂，从而形成中间基网格，作为 CH4 形成的基础。因此，与等离子等离子体作用下的纯C2H6脱氢相比，C2H6的转化率和C2H2、C2H4和CH4
