（5）微波放电：微波放电是将微波能量转化为气体分子的内能，薄膜涂层附着力怎么检测使之激发、电离以发生等离子体的一种气体放电形式。微波放电的电离度高，气体具有更高的活化程度，因而能在更低温度下获得和维持具有更高能量的等离子体，更适合对温度敏感材料如有机薄膜的处理，但设备造价较高。同时，薄膜涂层漆膜附着
