2.等离子清洗机的清洗分类： 2.1 反应类型分类大气等离子体与固体表面之间的反应可分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，颗粒表面物理改性实验步骤污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性粒子与污染物反应产生挥发物。物质和挥发性物质被真空泵吸
