从真空等离子体处理器的电极结构来理解溅射兼容耦合型射频真空等离子体表面处理设备，附着力促进剂效果持续性电极基本采用铝合金，这主要是因为铝本身散热性好，对等离子体的耐候性好。即使是铝，铝原子在长时间等离子体轰击下仍会从电极表面逃逸。同样，由于射频溅射会轰击金属颗粒，被轰击的金属颗粒可能会附着在产品表面
