工件表面上的污染物,如油脂、通量,胶卷,脱模剂,冲压油,等等,很快就会被氧化成二氧化碳和水,并将由真空泵抽离,以达到清洁表面,提高渗透的意图和附着力。低温等离子体处理只涉及数据的外观，附着力不高的柔性光固树脂不影响数据的性质。由于等离子体清洗是在高真空条件下进行的，等离子体中的各种活性离子自由路径长
