2、降低低温等离子污染的机理、等离子化学反应过程中等离子表面处理设备的能量传递、等离子化学反应中的能量传递大致如下。 (1)电场+电子与RARR的结合；高能电子；(2))高能电子+分子(或原子)&RARR；活性自由基(激发自由基、激发自由基、自由基)；(3)活性基团+ 分子（原子）& RARR；产品
