从机理上看，铜板表面活化用什么药水等离子体清洗一般包括以下过程：无机气体被等离子体激发；气相物质吸附到固体表面；吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；产物分子分解成气相；反应残留物与表面分离。等离子体处理器清洗技术的特点是无论被处理对象的基板类型如何，都可以进行处理。它可以处理金属、半导体、氧化物
